中国东方电气集团旗下的东汽投资发展有限公司峨嵋半导体材料厂、研究所(以下简称:东汽峨半厂所)座落在举世闻名的旅游胜地峨眉山脚下,占地面积 430余亩。东汽峨半厂所是1964年10月以原冶金部有色金属研究院338室和沈阳冶炼厂高纯金属车间为主组建的我国第一家集半导体材料科研、试制、生产相结合的大型厂(所)一体的企业,是有色工业重点骨干企业,其中,“研究所”是国家242所重点科研所之一,每年承担多项国家及军工重点科研专题项目,是我国硅材料主要生产企业之一。现有职工近1600人,各类技术人员681人,其中具有高级技术职称的有22人,中级技术职称有214人。
东汽峨半厂所是省级“企业技术中心”。截至目前,共取得科研成果300多项,其中获省部级以上成果奖80多项,累计开发试制新产品6000多种。先后为我国电子信息、能源交通、机械电力等许多工业部门和研究领域提供了相关的半导体材料。同时向我国洲际导弹、海上发射运载火箭、人造卫星、北京正负电子对撞机及神舟5号、6号飞船等提供了关键材料,为我国国防事业做出了重要贡献,多次受到党中央、国务院、中央军委及中央相关部委的通报表彰。
经过四十多年的建设和发展,东汽峨半厂所现资产总额达19.42亿元,已形成硅材料(多晶硅、单晶硅、硅片)、高(超)纯金属材料、化合物半导体材料及高纯气体、高纯试剂等4大产品系列,产品品种及规格达650多个。目前主要产品年生产能力已达到:多晶硅700吨,单晶硅100吨、硅片30吨、高纯金属65吨,是全国最大的多晶硅和高纯金属生产供应商。
东汽峨半厂所的发展目标是:坚持“多电并举” 发展战略,在“十一五”末,主要产品年生产能力达到多晶硅5200吨、单晶硅1000吨、硅片5000万片、高纯金属100吨,年销售收入达到50亿元,并利用多晶硅优势,广泛寻求战略合作伙伴,共同打造光伏产业链,形成100亿元规模的产业集群。
峨嵋半导体材料厂、所是专业从事Ⅱ-Ⅵ、Ⅲ-Ⅴ、Ⅳ-Ⅵ族等化合物半导体用各种高纯度、超高纯度(99.999%~99.99999%)元素及相关化合物材料的科研生产型组织。产品主要用于化合物半导体衬底及外延源材料、光学晶体、溅射靶材、太阳能电池、特种合金制造及半导体掺杂剂等。我们秉承“自主创新,追求卓越,服务军工”的发展理念,经过40多年的努力,已建成完整的高纯元素及相关化合物材料的综合生产体系,检测手段齐全,工艺技术水平国内领先,总产能力达到65吨/年。产品系列从单元素扩展到其它化合物半导体材料、高纯合金和化学试剂等,同时可为客户提供异型产品加工服务,包括锭状、片状、粒状、棒状、块状、丝、粉状等。
我们的用户遍及国内各个科研院所,产品已进入欧、美、日等国市场。近期,总投资达4000多万元的高纯材料工业园区一期工程生产线即将投产。一流的生产装备,配套完善的基础设施(6级净化厂房),代表世界先进水平的质谱分析技术手段——辉光放电质谱仪(GD-MS)的应用,我们期望用更优质的产品服务于广大客户,与合作伙伴携手共创我国化合物半导体产业的未来。
产品系列
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单晶硅分厂从事单晶硅的科研、生产已有四十多年的历史,经多年的发展,单晶硅的生产能力不断扩大。目前直拉单晶的产能达到12 0吨/年,其中太阳能级产品100吨/年、IC级单晶15吨/年、晶体管级产品5吨/年、区熔单晶产能30吨/年,最大直径Ф5 。其中NTDFZ单晶产品在国内市场占有较大份额,是我厂的拳头产品。我们也是国家唯一能提供真空区熔超高阻单晶硅的企业,产品广泛运用于特种器件的生产之中。
单晶硅分厂是专业从事直拉、区熔单晶科研、生产的下属单位,有大批专业技术人员和高水平的拉晶技术工人。目前拥有世界先进水平的F Z-30炉、C G6000、T D R80等硅单晶制造设备,有较强的设备管理队伍,国产区熔炉在我厂得到很好的使用,这是与电器改造水平分不开的。
多晶硅分厂从事多晶硅的研究、生产已有三十多年的历史,经过长期的技术攻关和生产系统的完善,先后解决了西门子工艺技术,并攻克了“改善西门子法”中的四项核心技术。拥有自主知识产权。随着“年产100吨多晶硅国家重点工 业实验线”的建成与完善,多晶硅的产能达到100吨/年,产品质量不断提高。产品的技术质量指标 满足电路级、晶体管级、太阳能级直拉单晶和区熔单晶的要求。同时,也结束了我们多晶硅不外销的历史,产品除满足自身的需要外,也对外销售,并得到客户的好评。2006年建成中国首条年产200吨多晶硅生产线,使我国多晶硅的生产技术跨入了世界先进行列。目前,拥有中国产量最大、质量最好的具有自主知识产权的多晶硅生产线,同时拥有占国内80%的多晶硅专家和一支国内一流的工艺研究、生产制造、设备维护的专业技术队伍。
现有员工300多人,工程技术人员60多人。
单晶硅片生产加工,已有二十多年的历史。其中N〈100〉、P〈11 〉I C级抛光片曾获得国家银质奖,经过近年的投入,现具备产能为硅抛光30万片/年、硅化腐片60万片、硅磨片280万片的能力。拥有一批世界先进水平的高精加工设备如D S261 ,26 5多线切割机、T S-23 内圆切割机、W-S-4000倒角机、SPEODFOM研磨机、抛光机等60多台套,最大加工直径达Ф6、最薄200微米研磨片等,能够为集成电路制造业、分离器件制造业提供高质量的单晶硅片。
峨嵋半导体材料厂、峨嵋半导体材料研究所
中国四川省峨眉山市
邮政编码 614200
公司电话:0833-5485551 5522496
网 址:http://www.emb739.com
联系人:杜宇